產(chǎn)品目錄
聯(lián)系方式
北京歐屹科技有限公司
聯(lián)系人：魯工 王工
手機：13910937780,17600738803
電話(huà)：010-69798892
地址：北京市昌平區回龍觀(guān)西大街115號龍冠大廈3層
郵編：102208
郵箱：17600738803@163.com
聯(lián)系人：魯工 王工
手機：13910937780,17600738803
電話(huà)：010-69798892
地址：北京市昌平區回龍觀(guān)西大街115號龍冠大廈3層
郵編：102208
郵箱：17600738803@163.com
產(chǎn)品中心
無(wú)掩膜光刻機
無(wú)掩膜光刻機UTA系列是將DLP投影儀盒金相顯微鏡相結合的縮小投影型無(wú)掩模曝光系統，其傳統系統（用于掩膜光刻的圖案投影曝光系統） 可以使用專(zhuān)門(mén)為此目的開(kāi)發(fā)的軟件來(lái)創(chuàng )建想要的圖案。
無(wú)掩膜光刻機裝置概述：
顯微鏡LED曝光單元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的圖案投影曝光裝置。
使用金相顯微鏡盒LED光源DLP投影儀，將具有機微米分辨率的任意圖案投影到涂有抗蝕劑的基板上進(jìn)行曝光。
圖案可以在PC上自由創(chuàng )建。
因為可以在普通的室內環(huán)境中在各種大小盒形狀的單晶薄片上形成電極，所以它比電子束光刻便宜且簡(jiǎn)單，不需要制造昂貴的電極圖案掩膜。
無(wú)掩膜光刻機應用：
薄膜FET和霍爾效應測量樣品的電極形成。
從石墨烯/鉬原石中剝離電極形成并評估其特性。
研發(fā)應用的圖案形成。
參數：
由于顯微鏡和DLP的結合，可以用很低的成本來(lái)構建系統。
易于使用的軟件可以輕松的創(chuàng )建曝光圖案。
通過(guò)物鏡放大倍率圖案，可以進(jìn)行大范圍的批量曝光。
可以連接到您自己的顯微鏡上（選項）。
分辨率在微米級。
曝光范圍：大2.5mm×1.5mm 小100um×60um。
可以連接到您自己的顯微鏡上（選項）。
分辨率在微米級。
曝光范圍：大2.5mm×1.5mm 小100um×60um。