納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結果通過(guò)力與壓入深度的曲線(xiàn)計算得出。包括高低溫環(huán)境、真空環(huán)境測試、粘彈性測量、彈性模量、水下測試等多種功能。